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J-GLOBAL ID：200902129583910012   整理番号：96A0284521

DCマグネトロンスパッタ法によるZnO系透明導電膜の作製と評価

Comparative Study on The ZnO-Based Transparent Conducting Films by DC Magnetron Sputtering.

著者 (3件)： 中田時夫 (青山学院大 理工) ,  村上直樹 (青山学院大 理工) ,  国岡昭夫 (青山学院大 理工)
資料名： マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集  (エレクトロニクス実装学会秋季大会論文集)
巻： 6th  ページ： 71-74  発行年： 1995年 
JST資料番号： X0060A  ISSN： 2434-396X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ドーパントとしてAlとBを添加したZnO系透明導電膜を作製し...

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (5件)： DCマグネトロンスパッタ法 ,  ZnO ,  透明導電膜 ,  作製 ,  評価