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J-GLOBAL ID:200902129939932091   整理番号:94A0026224

Si単結晶表面の構造欠陥と反応選択性

Reaction selectivity of Si single crystal with well-defined surface defects.
著者 (2件):
資料名:
巻: 4th  ページ: 26-29  発行年: 1993年09月 
JST資料番号: L0839A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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