ブロック共重合体溶液のマイクロパターン形成

DENG T; HA Y-H; CHENG J Y; ROSS C A; THOMAS E L

文献

J-GLOBAL ID：200902129982329064 整理番号：02A0745436

ブロック共重合体溶液のマイクロパターン形成

Micropatterning of Block Copolymer Solutions.

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巻： 18 号： 18 ページ： 6719-6722 発行年： 2002年09月03日
JST資料番号： A0231B ISSN： 0743-7463 CODEN： LANGD5 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

通常ポリジメチルシロキサン(PDMS)を膨潤させる溶剤による...

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高分子固体のその他の性質 , 固体デバイス製造技術一般

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