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J-GLOBAL ID:200902130113044422   整理番号:96A0988065

コロナイオン化装置による有機物蒸気から発生した超微細粒子の挙動

Behavior of Ultrafine Particles Generated from Organic Vapors by Corona Ionizers.
著者 (6件):
資料名:
巻: 13  号:ページ: 41-46  発行年: 1996年02月 
JST資料番号: C0009C  ISSN: 0934-0866  CODEN: PPCHEZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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薄膜成長技術・装置 

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