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J-GLOBAL ID：200902130550564680   整理番号：95A0911758

さざ波顕微鏡と材料表面物性の定量的測定 (I): 測定

Quantitative Evaluation of Material Surfaces Using Sazanami Imaging: (I). Measurement.

著者 (3件)： 原田明 (東大 大学院) ,  SHEN Q (東大 大学院) ,  沢田嗣郎 (東大 大学院)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
巻： 1995  号： Society A  ページ： 217-218  発行年： 1995年09月 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属,セラミック材料や半導体ウエハーの欠陥画像化などのために...

シソーラス用語： *可視化 ,...
準シソーラス用語： 過渡反射格子 ,...

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分類 (3件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  品質検査  (KB04020L) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (4件)： さざ波 ,  顕微鏡 ,  表面物性 ,  定量