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J-GLOBAL ID：200902131021243247 整理番号：00A0593461
Siナノデバイス (7) シリコンを使った新しい素子をめざして
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資料名：
FEDジャーナル (FED Journal)
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巻：
11
号：
1
ページ：
49-56
発行年：
2000年
JST資料番号：
L2842A
ISSN：
0918-2772
CODEN：
FEJAEW
資料種別：
逐次刊行物 (A)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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