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J-GLOBAL ID：200902131055549817   整理番号：03A0045648

表面マイクロマシン技術による薄膜ガスセンサの研究

Study on a Thin-Film Gas-Sensor Using Surface Micro-Machining.
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著者 (2件)：
原和裕

原和裕 について

(東京電機大 工)

東京電機大 工 について

, 
伊藤彰人

伊藤彰人 について

(東京電機大 工)

東京電機大 工 について


資料名：
超電導応用研究所ハイテク・リサーチ・センター研究成果報告書 2001

超電導応用研究所ハイテク・リサーチ・センター研究成果報告書 2001 について


ページ： 107-110  発行年： 2002年 
JST資料番号： N20022579  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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高感度の半導体薄膜センサの実用化には,小型化,省電力化,高選...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*ガスセンサ

ガスセンサ について

,...
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分類 (3件)：
分類
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分析機器 
(CC02020S)

分析機器 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  半導体薄膜 
(BK14040E)

半導体薄膜 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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マイクロマシン技術

マイクロマシン技術 について

, 
薄膜

薄膜 について

, 
ガスセンサ

ガスセンサ について

, 
研究

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