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J-GLOBAL ID：200902131112088864   整理番号：94A0745013

rfマグネトロン反応性スパッタで作製したZnS:Mn薄膜の定量分析と結晶学的研究

Quantitative analyses and crystallographic studies of ZnS:Mn thin films prepared by r.f. magnetron reactive sputtering.

著者 (4件)： XIAN H (Univ. P. et M. Curie, Paris, FRA) ,  BENALLOUL P (Univ. P. et M. Curie, Paris, FRA) ,  BARTHOU C (Univ. P. et M. Curie, Paris, FRA) ,  BENOIT J (Univ. P. et M. Curie, Paris, FRA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 248  号： 2  ページ： 193-198  発行年： 1994年08月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記薄膜を電子プローブ顕微分析とX線回折で調べ,Ar放電にH...

シソーラス用語： 反応性スパッタリング ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (10件)： RF ,  マグネトロン ,  反応性スパッタ ,  作製 ,  ZnS ,  Mn ,  薄膜 ,  定量分析 ,  結晶学 ,  研究