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J-GLOBAL ID：200902131221988280   整理番号：98A0461373

機械的に損傷させた酸化したシリコンのエレクトロルミネセンス

Electroluminescence from mechanically damaged oxidized silicon.
著者 (4件)：
YUAN J

YUAN J について

(Univ. New South Wales, Sydney, AUS)

Univ. New South Wales, Sydney, AUS について

, 
HANEMAN D

HANEMAN D について

(Univ. New South Wales, Sydney, AUS)

Univ. New South Wales, Sydney, AUS について

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ANDRIENKO I

ANDRIENKO I について

(Univ. New South Wales, Sydney, AUS)

Univ. New South Wales, Sydney, AUS について

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LI W

LI W について

(Univ. New South Wales, Sydney, AUS)

Univ. New South Wales, Sydney, AUS について


資料名：
Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)

Journal of Applied Physics について


巻： 83  号： 8  ページ： 4385-4388  発行年： 1998年04月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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軽く酸化したSiウェハに機械的な損傷を与えると室内灯で見える...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*エレクトロルミネセンス

エレクトロルミネセンス について

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分類 (1件)：
分類
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無機化合物のルミネセンス 
(BM08093J)

無機化合物のルミネセンス について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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損傷

損傷 について

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酸化

酸化 について

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シリコン

シリコン について

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エレクトロルミネセンス

エレクトロルミネセンス について


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