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J-GLOBAL ID：200902131244728153   整理番号：95A0092414

シリコン精密加工をした二次元ガルバノ光学スキャナ

Silicon Micromachined Two-Dimensional Galvano Optical Scanner.

著者 (4件)： ASADA N (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MATSUKI H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MINAMI K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 30  号： 6 Pt 1  ページ： 4647-4649  発行年： 1994年11月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記について原理と実験結果を述べた。二次元の動作を行うために...

シソーラス用語： 検流計 ,...

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分類 (1件)： 電流,電圧,電荷の計測法・機器  (AD07020C)

タイトルに関連する用語 (3件)： シリコン ,  精密加工 ,  光学スキャナ