TZDB,TDDBの基板,酸化雰囲気依存性

文献

J-GLOBAL ID：200902131294562345 整理番号：96A0420717

Effects of Si substrate and oxidation atmosphere on gate oxide reliability.

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資料名：
巻： 43rd 号： 2 ページ： 779 発行年： 1996年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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