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J-GLOBAL ID：200902131317941098   整理番号：98A0033427

プラズマ浸漬イオン注入のイオンエネルギー分布

Ion energy distribution in plasma immersion ion implantation.
著者 (4件)：
MAENDL S

MAENDL S について

(Res. Center Rossendorf, Inc., Dresden, DEU)

Res. Center Rossendorf, Inc., Dresden, DEU について

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BRUTSCHER J

BRUTSCHER J について

(Res. Center Rossendorf, Inc., Dresden, DEU)

Res. Center Rossendorf, Inc., Dresden, DEU について

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GUENZEL R

GUENZEL R について

(Res. Center Rossendorf, Inc., Dresden, DEU)

Res. Center Rossendorf, Inc., Dresden, DEU について

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MOELLER W

MOELLER W について

(Res. Center Rossendorf, Inc., Dresden, DEU)

Res. Center Rossendorf, Inc., Dresden, DEU について


資料名：
Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)

Surface & Coatings Technology について


巻： 93  号： 2/3  ページ： 234-237  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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プラズマ浸漬イオン注入ではイオンはプラズマからターゲットに加...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ステンレス鋼

ステンレス鋼 について

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分類 (2件)：
分類
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金属の放射線による構造と物性の変化 
(BK16122N)

金属の放射線による構造と物性の変化 について

,  プラズマ応用 
(BJ02110K)

プラズマ応用 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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プラズマ浸漬イオン注入

プラズマ浸漬イオン注入 について

, 
イオンエネルギー分布

イオンエネルギー分布 について


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