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J-GLOBAL ID：200902131392438059   整理番号：02A0848787

二酸化チタンスパッタ薄膜の光学特性

Optical properties of TiO₂ thin films deposited by rf magnetron sputtering.

著者 (6件)： MIAO L (NIT) ,  TERAI A (Jobin-Yvon Horiba) ,  NABOTOVA-GABIN N (Jobin-Yvon Horiba) ,  JIN P (AIST) ,  KANEKO K (Kyushu Univ.) ,  TANEMURA S (NIT)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 63rd  号： 2  ページ： 526  発行年： 2002年09月24日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *酸化チタン ,...

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分類 (1件)： 光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 二酸化チタン ,  スパッタ ,  薄膜 ,  光学特性