レビュー:MEMSおよび流れ制御におけるその応用

HO C-M; TAI Y-C

文献

J-GLOBAL ID：200902131682583648 整理番号：96A0986887

レビュー:MEMSおよび流れ制御におけるその応用

REVIEW: MEMS and Its Applications for Flow Control.

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巻： 118 号： 3 ページ： 437-447 発行年： 1996年09月
JST資料番号： C0997A ISSN： 0098-2202 CODEN： JFEGA4 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

上記標題について紹介した。はじめにマイクロマシンの種々の例を...

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流体式制御機器 , 固体デバイス製造技術一般

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