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J-GLOBAL ID：200902131884921901   整理番号：02A0071503

バイポーラ・パルスを利用したPBII法によるDLC膜コーティング

著者 (4件)： 宮川草児 (産業技術総合研 基礎素材研究部門) ,  中尾節男 (産業技術総合研 基礎素材研究部門) ,  池山雅美 (産業技術総合研 基礎素材研究部門) ,  宮川佳子 (産業技術総合研 基礎素材研究部門)
資料名： イオン注入表層処理シンポジウム予稿集  (イオン注入表層処理シンポジウム論文集)
巻： 17th  ページ： 59-62  発行年： 2001年11月30日 
JST資料番号： X0078A  ISSN： 0917-1460  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,...

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分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： バイポーラ ,  パルス ,  PBII法 ,  DLC膜 ,  コーティング