文献
J-GLOBAL ID:200902132131844331
整理番号:97A1003202
Micromachined pressure sensors: review and recent developments.
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著者 (2件):
,
資料名:
巻:
6
号:
5
ページ:
530-539
発行年:
1997年10月
JST資料番号:
W0480A
ISSN:
0964-1726
CODEN:
SMSTER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)
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