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J-GLOBAL ID：200902132131844331   整理番号：97A1003202

Micromachined pressure sensors: review and recent developments.

著者 (2件)： EATON W P (Sandia National Lab., NM, USA) ,  SMITH J H (Sandia National Lab., NM, USA)
資料名： Smart Materials and Structures  (Smart Materials and Structures)
巻： 6  号： 5  ページ： 530-539  発行年： 1997年10月 
JST資料番号： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)