マイクロプローブによる粉体粒子マニピュレーション・接合と微小物構築

文献

J-GLOBAL ID：200902132159489251 整理番号：97A0095598

Fabrication of Micro-Structure by Powder Particle Manipulation and Welding Using a Micro-Probe.

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資料名：
巻： 2nd ページ： 197-202 発行年： 1996年02月
JST資料番号： L2496A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

粉体粒子を対象としたマイクロプローブ法によるアセンブル実験結...

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固体デバイス製造技術一般

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