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J-GLOBAL ID：200902132434648551   整理番号：93A0596791

DNQ-PAC構造 4,5-および6-スルホニルDNQエステル

DNQ-PAC structure: 4-, 5- and 6- sulfonyl DNQ ester.

著者 (4件)： URANO Y (Toyo Gosei Kogyo Co., Chiba, JPN) ,  MIYAZAKI M (Toyo Gosei Kogyo Co., Chiba, JPN) ,  KATSUYA K (Toyo Gosei Kogyo Co., Chiba, JPN) ,  KIKUCHI H (Toyo Gosei Kogyo Co., Chiba, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 6  号： 1  ページ： 53-56  発行年： 1993年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ジアゾナフトキノンスルホニルクロリドとフェノール化合物から標...

シソーラス用語： フォトレジスト ,...
準シソーラス用語： DNQ【化合物】 ,...

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分類 (3件)： ナフタレン  (CF06020D) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  その他の高分子の反応  (CG03040H)

引用文献 (4件)：

• 1), MOPAC Ver.6, J. J. P. Stewart, QCPE Bull. 9 (1989) 10.
• 2), P. Yates and E. W. Robb, J. Am. Chem. Soc., 79 (1957) 5760.
• 3), D. W. Johnson, Proc. SPIE, 469 (1984) 72.
• 4), T. Kokubo, Y. Idemoto, Y. Kawabe and K. Uenishi, Proc. SPIE, 920 (1988) 355.

タイトルに関連する用語 (2件)： PAC ,  エステル