文献
J-GLOBAL ID:200902132808255915
整理番号:94A0195616
高温Al膜のモホロジーに対する基板放出ガスの影響
Effects of the degassing of substrates to the morphology of high-temp. Al films.
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{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0195616&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055A") }}