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J-GLOBAL ID:200902133222445843   整理番号:94A0074187

特集 オープンシステムの現状と富士通の取組み 工程管理システムへのライトサイジング化の実践 低コスト短期システム構築に向けて

Special issue : Present stage of open the system and challenge of FUJITSU.The practice of light sizing in the process control system.For low-cost and short-term system construction.
著者 (2件):
資料名:
号: 210  ページ: 14-18  発行年: 1993年11月 
JST資料番号: L0535A  ISSN: 0911-8969  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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信越半導体(株)白河工場で進めてきたSiウエハ製造工程管理シ...
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
工程管理  ,  事務・経営情報処理 

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