高精度自由曲面形状測定装置の開発

文献

J-GLOBAL ID：200902133265292595 整理番号：01A0981994

Development of a high precision free-form measurement machine.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 67 号： 10 ページ： 1632-1636 発行年： 2001年10月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

自由曲面形状の光学素子の加工結果や形状を測定するために,再現...

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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器

引用文献 (7件)：

NEGISHI, M. A super-Smooth Polishing for Aspherical Surface(I)-High-Precision Coordinate Measuring and Polishing Systems. SPIE. 1995, 2576, 336
NEGISHI, M. A High-Precision Coordinate Measurement Machine for Aspherical Optics. Proc. 9^<th>-ICPE Japan. 1999, 354
WEISER, M. Aspherical Surface at 100 pm - Accuracy Results on Manufacturing and Metrology. Proc. 9^<th>-ICPE Japan. 1999, 51
BECKER, K. A High Resolution Coordinate Measuring Machine for the Testing of X-Ray-Mirror. SPIE. 1986, 733, 149
LEADBEATER, P. B. Ultra Precision Stylus Profilometry for Large Optical Components. ASPE, Annual Conf. 1990, 114

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