工業用メートルサイズの大面積電子ビーム励起プラズマ

HOMYARA H; AHMAD S; IKEZAWA S; FAMAKINWA T; ODA H; YOSHIMURA K; TAODA H; FUJII S; HARA T

文献

J-GLOBAL ID：200902133344515974 整理番号：02A0687148

工業用メートルサイズの大面積電子ビーム励起プラズマ

Large area electron-beam-excited plasma of meter size for industrial applications.

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著者 (9件)： , , , , , , , ,
資料名：
巻： 66 号： 3/4 ページ： 203-207 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

工業用のTiO₂膜を大面積にわたってコ...

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気相めっき , プラズマ装置 , 酸化物薄膜

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