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J-GLOBAL ID：200902133365331350   整理番号：03A0344091

Brillouin光散乱と表面弾性波分光によるナノ多孔質重合体薄膜特性の測定

Nanoporous polymer film properties from Brillouin light scattering and surface acoustic wave spectroscopy.

著者 (6件)： FLANNERY C M (Paul Drude Inst. Solid State Electronics, Berlin, DEU) ,  KIM S (National Inst. Standards & Technol., CO, USA) ,  WITTKOWSKI T (Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU) ,  JUNG K (Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU) ,  HILLEBRANDS B (Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU) ,  BAKLANOV M R (XPEQT at IMEC, Leuven, BEL)
資料名： Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 2002  号： Vol.1  ページ： 211-214  発行年： 2002年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1051-0117  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 0.1-0.2μmといったマイクロエレクトロニクス相互接続配...

シソーラス用語： *高分子薄膜 ,...
準シソーラス用語： ナノ多孔質 ,...

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分類 (2件)： 非破壊試験  (HB02030F) ,  高分子固体の構造と形態学  (CG02022M)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光散乱 ,  表面弾性波 ,  分光 ,  ナノ多孔質 ,  重合体薄膜