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J-GLOBAL ID:200902133438428021   整理番号:97A0004257

精密設備の振動遮断

Vibration isolation of precision equipment.
著者 (1件):
資料名:
巻: 17  号:ページ: 41-56  発行年: 1995年01月 
JST資料番号: A0734B  ISSN: 0141-6359  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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精密機械など振動に敏感な設備の工場内振動の影響を総合的に分析...
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  緩衝器,ばね 
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