文献

J-GLOBAL ID：200902133734125735   整理番号：94A0582288

静的飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)による無機及び有機表面と薄膜の化学分析

Chemical Analysis of Inorganic and Organic Surfaces and Thin Films by Static Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry(TOF-SIMS).

著者 (1件)： BENNINGHOVEN A (Univ. Muenster, DEU)
資料名： Angewandte Chemie. International Edition  (Angewandte Chemie. International Edition)
巻： 33  号： 10  ページ： 1023-1043  発行年： 1994年06月06日 
JST資料番号： H0127B  ISSN： 1433-7851  CODEN： ACIEAY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TOF-SIMSの基本原理をスパッタリングと二次イオンから解...

シソーラス用語： 飛行時間法 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0582288&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0127B") }}

分類 (4件)： 質量分析  (CC03013N) ,  質量スペクトル(分子)  (BH06100V) ,  無機化合物の物理分析  (CC03024P) ,  有機化合物の物理分析  (CC03034A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 飛行時間 ,  二次イオン質量分析 ,  TOF-SIMS ,  薄膜 ,  化学分析