格子不整合の大きい系のエピタキシャル成長

ZHELEVA T; JAGANNADHAM K; NARAYAN J

文献

J-GLOBAL ID：200902133780710022 整理番号：94A0211548

格子不整合の大きい系のエピタキシャル成長

Epitaxial growth in large-lattice-mismatch systems.

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資料名：
巻： 75 号： 2 ページ： 860-871 発行年： 1994年01月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

格子定数の差が大きいTiN/SiおよびTiN/GaAs系の方...

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金属薄膜 , 半導体-金属接触

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