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J-GLOBAL ID:200902133780710022   整理番号:94A0211548

格子不整合の大きい系のエピタキシャル成長

Epitaxial growth in large-lattice-mismatch systems.
著者 (3件):
資料名:
巻: 75  号:ページ: 860-871  発行年: 1994年01月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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格子定数の差が大きいTiN/SiおよびTiN/GaAs系の方...
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分類 (2件):
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金属薄膜  ,  半導体-金属接触 
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