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J-GLOBAL ID：200902133804809530   整理番号：02A0722938

自由運動機構を作製するための単一光子重合を用いるサブミクロン立体リソグラフィー

Submicron stereolithography for the production of freely movable mechanisms by using single-photon polymerization.

著者 (2件)： MARUO S (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  IKUTA K (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A100  号： 1  ページ： 70-76  発行年： 2002年08月15日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 442nm He-Cdレーザを使ったサブミクロン立体リソグラ...

シソーラス用語： *サブミクロン加工 ,...

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分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 作製 ,  単一光子 ,  重合 ,  サブ ,  立体 ,  リソグラフィー