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J-GLOBAL ID：200902134483705130   整理番号：93A0805172

化学蒸着によりエピタキシャル成長させた(100)単結晶ダイヤモンド膜のモホロジー研究

Morphologic study of (100) single crystal diamond films epitaxially grown by chemical vapor deposition.

著者 (9件)： ZHANG Z M (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  LI S H (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  CAI Q Y (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  LING D L (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  WANG S J (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  HU Z W (Nanjing Univ., Nanjing, CHN) ,  JIANG S S (Nanjing Univ., Nanjing, CHN) ,  GE C Z (Nanjing Univ., Nanjing, CHN) ,  MING N B (Nanjing Univ., Nanjing, CHN)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 132  号： 1/2  ページ： 200-204  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (100)方位のダイヤモンド基板上にマイクロ波プラズマ化学蒸...

シソーラス用語： ダイヤモンド ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 化学蒸着 ,  エピタキシャル成長 ,  単結晶 ,  ダイヤモンド膜 ,  モホロジー ,  研究