AlN/Al2O3基板上のSiC膜のヘテロエピタキシャル成長

KUZNETSOV A N; LEBEDEV A A; RASTEGAEVA M G; ROGACHEV N A; TERUKOV E I; SHCHEGLOV M P

文献

J-GLOBAL ID：200902134589581235 整理番号：95A0924753

AlN/Al₂O₃基板上のSiC膜のヘテロエピタキシャル成長

Heteroepitaxial growth of SiC films on AlN/Al₂O₃ substrates.

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巻： 29 号： 8 ページ： 740-742 発行年： 1995年08月
JST資料番号： T0093A ISSN： 1063-7826 CODEN： SMICES 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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