特集 マイクロマシン マイクロ流体制御システム

文献

J-GLOBAL ID：200902134648079891 整理番号：94A0238203

特集マイクロマシンマイクロ流体制御システム

Special issue : The micromachine.Micro fluid control system.

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資料名：
巻： 33 号： 3 ページ： 51-57 発行年： 1994年03月
JST資料番号： G0877A ISSN： 0914-6253 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

これまでに報告されたマイクロバルブとマイクロポンプに用いられ...

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油圧・空気圧機器

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