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J-GLOBAL ID：200902134681576639   整理番号：00A0514563

マイクロ波プラズマ促進化学蒸着によって合成した垂直に整列したカーボンナノチューブの直径,成長速度および密度の制御

Controlling the diameter, growth rate, and density of vertically aligned carbon nanotubes synthesized by microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition.

著者 (8件)： CHOI Y C (Jeonbuk National Univ., Jeonju, KOR) ,  SHIN Y M (Jeonbuk National Univ., Jeonju, KOR) ,  LEE Y H (Jeonbuk National Univ., Jeonju, KOR) ,  LEE B S (Jeonbuk National Univ., Jeonju, KOR) ,  PARK G-S (Samsung Advanced Inst. Technol., Suwon, KOR) ,  CHOI W B (Samsung Advanced Inst. Technol., Suwon, KOR) ,  LEE N S (Samsung Advanced Inst. Technol., Suwon, KOR) ,  KIM J M (Samsung Advanced Inst. Technol., Suwon, KOR)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 76  号： 17  ページ： 2367-2369  発行年： 2000年04月24日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ波プラズマ促進化学蒸着を用いて,Niをスパッタ蒸着し...

シソーラス用語： プラズマCVD ,...

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分類 (1件)： 原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロ波 ,  プラズマ促進化学蒸着 ,  整列 ,  カーボンナノチューブ ,  直径 ,  成長速度 ,  密度