ハイブリッドIC回路パターンの微小欠陥検出法と検査装置の開発

文献

J-GLOBAL ID：200902134732627403 整理番号：97A0529494

Development of A Method and Inspection System for Detecting Minute Defects of Hybrid IC Pattern.

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資料名：
巻： 51 号： 3 ページ： 400-404 発行年： 1997年03月
JST資料番号： F0330A ISSN： 1342-6907 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

1)IC欠陥の無い標準画像と対象画像との画像間演算のため高精...

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固体デバイス計測・試験・信頼性 , 図形・画像処理一般

引用文献 (5件)：

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