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J-GLOBAL ID：200902134874806321   整理番号：01A0903361

走査型力顕微鏡と走査型レーザー顕微鏡によるナノスケール機械加工脆性材料上の表面/表面下クラックの同時評価

Simultaneous Evaluation of Surface and Subsurface Cracks on Nano-scale Machined Brittle Materials by Scanning Force Microscope and Scanning Laser Microscope.

著者 (3件)： SUMOMOGI T (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN) ,  NAKAMURA M (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN) ,  ENDO T (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN)
資料名： Precision Engineering Nanotechnology: Proceedings of the 2nd International EUSPEN Conference, 2001, Vol.1  (Precision Engineering Nanotechnology: Proceedings of the 2nd International EUSPEN Conference, 2001, Vol.1)
ページ： 152-155  発行年： 2001年 
JST資料番号： K20010189  資料種別： 会議録 (C)
発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (8件)： 走査型力顕微鏡 ,  走査型 ,  レーザー顕微鏡 ,  ナノスケール ,  機械加工 ,  脆性材料 ,  クラック ,  評価