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J-GLOBAL ID：200902134955706810   整理番号：94A0079064

A spectroscopic investigation of the amorphous to microcrystalline transition in silicon prepared by reactive magnetron sputtering.

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著者 (2件)：
TURNER W A

TURNER W A について

(N.C. State Univ., NC)

N.C. State Univ., NC について

, 
LUCOVSKY G

LUCOVSKY G について

(N.C. State Univ., NC)

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資料名：
Amorphous Silicon Technology - 1993  (Amorphous Silicon Technology - 1993)

Amorphous Silicon Technology - 1993 について


ページ： 521-526  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19930659  ISBN： 1-55899-193-X  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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