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J-GLOBAL ID：200902134963194097   整理番号：93A0649075

PBR LOCOSにおけるリセスエッチング深さの限界-ハンプ電流測定

Depth Limit of Si Recess in PBR LOCOS Formation.

著者 (3件)： 清水紀智 (松下電器産業 半導体研セ) ,  内藤康志 (松下電器産業 半導体研セ) ,  広藤裕一 (松下電器産業 半導体研セ)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 2  ページ： 640  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： PBR ,  LOCOS ,  限界 ,  ハンプ ,  電流測定