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J-GLOBAL ID：200902135132712543   整理番号：01A0801031

シンクロトロン放射照明により支援されたSi(111)表面上のナノ構造形成 走査型トンネル顕微鏡による評価

Nanostructure formation on Si(111) surface assisted by synchrotron radiation illumination. Characterization by scanning tunneling microscopy.
著者 (5件)：
NONOGAKI Y

NONOGAKI Y について

(Inst. Molecular Sci., Okazaki, JPN)

Inst. Molecular Sci., Okazaki, JPN について

, 
GAO Y

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(Univ. Rochester, NY, USA)

Univ. Rochester, NY, USA について

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MEKARU H

MEKARU H について

(Himeji Inst. Technol., Akou, JPN)

Himeji Inst. Technol., Akou, JPN について

, 
MIYAMAE T

MIYAMAE T について

(National Inst. Materials and Chemical Res., Tukuba, JPN)

National Inst. Materials and Chemical Res., Tukuba, JPN について

, 
URISU T

URISU T について

(Inst. Molecular Sci., Okazaki, JPN)

Inst. Molecular Sci., Okazaki, JPN について


資料名：
Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena  (Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)

Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena について


巻： 119  号： 2/3  ページ： 241-246  発行年： 2001年08月 
JST資料番号： D0266C  ISSN： 0368-2048  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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正確に配向又は4°傾けたSi(111)表面上の固有酸化膜をシ...
シソーラス用語：
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*ケイ素

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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  半導体の表面構造 
(BK15030A)

半導体の表面構造 について

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タイトルに関連する用語
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シンクロトロン放射

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照明

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支援

支援 について

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Si

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構造形成

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走査型トンネル顕微鏡

走査型トンネル顕微鏡 について

, 
評価

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