文献
J-GLOBAL ID：200902135338948667   整理番号：02A0794866

パワーマイクロ電気機械システムのための窒化けい素の三次元微細加工

Three-Dimensional Microfabrication of Silicon Nitride for Power Microelectromechanical Systems.
  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=02A0794866&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=X0768A") }}
著者 (5件)：
SUGIMOTO S

SUGIMOTO S について

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

Tohoku Univ., Sendai, JPN について

, 
TANAKA S

TANAKA S について

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

Tohoku Univ., Sendai, JPN について

, 
LI J-F

LI J-F について

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

Tohoku Univ., Sendai, JPN について

, 
WATANABE R

WATANABE R について

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

Tohoku Univ., Sendai, JPN について

, 
ESASHI M

ESASHI M について

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

Tohoku Univ., Sendai, JPN について


資料名：
Technical Digest of the Sensor Symposium  (Technical Digest of the Sensor Symposium)

Technical Digest of the Sensor Symposium について


巻： 18th  ページ： 45-50  発行年： 2001年05月29日 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
標記システム(パワーMEMS)のための窒化シリコン(Si<s...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
マイクロマシン

マイクロマシン について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=02A0794866&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=X0768A") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  圧粉,焼結 
(WC02030X)

圧粉,焼結 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
パワー

パワー について

, 
電気機械

電気機械 について

, 
窒化けい素

窒化けい素 について

, 
微細加工

微細加工 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM