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文献
J-GLOBAL ID:200902135478172120   整理番号:98A0927782

SAWフィルタ用ダイヤモンドウェハ

Diamond Wafer for SAW Filters.
著者 (6件):
資料名:
号: 153  ページ: 99-103  発行年: 1998年09月 
JST資料番号: F0314A  ISSN: 1343-4330  CODEN: SUDEA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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2,3inのSiウェハ上に高品質の多結晶ダイヤモンド膜をフィ...
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分類 (1件):
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フィルタ一般 
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