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J-GLOBAL ID:200902136234514971   整理番号:96A0046802

Tiに富むTi-Ni薄膜の形状記憶挙動に及ぼす熱処理の効果

Effect of Heat Treatment on Shape Memory Behavior of Ti-rich Ti-Ni Thin Films.
著者 (4件):
資料名:
巻: 36  号: 11  ページ: 1349-1355  発行年: 1995年11月 
JST資料番号: G0668A  ISSN: 0916-1821  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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スパッタリングで作製した標記薄膜を異なる温度と時間で熱処理し...
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分類 (1件):
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その他の金属組織学 
引用文献 (12件):
  • 1) J. D. Busch, A. D. Johnson, D. E. Hodgson, C. H. Lee and D. A. Stevenson: Mater. Sci. Forum, 56-58 (1990), 729.
  • 2) A. D. Johnson: J. Microeng., 1 (1991), 34.
  • 3) J. A. Walker, K. J. Gabriel and M. Mehregany: Sens. Actuators A, 21-23 (1990), 243.
  • 4) A. P. Jardine, H. Zhang and L. D. Wasielesky: Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 187 (1990), 181.
  • 5) A. Ishida, A. Takei and S. Miyazaki: Thin Solid Films, 228 (1993), 210.
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