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J-GLOBAL ID：200902136264063044   整理番号：94A0417273

走査型電子顕微鏡(日立S-4100L)の性能と応用

Characteristic Features of Scanning Electron Microscope (HITACHI S-4100L).

著者 (5件)： 佐藤史生 (東北大 素材工研) ,  釜谷隆 (東北大 素材工研) ,  安田文子 (東北大 素材工研) ,  井上博文 (東北大 素材工研) ,  進藤大輔 (東北大 素材工研)
資料名： 東北大学素材工学研究所い報  (Bulletin of the Institute for Advanced Materials Processing, Tohoku University)
巻： 49  号： 1/2  ページ： 125-137  発行年： 1993年12月 
JST資料番号： F0434A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 紹介的記事  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 東北大学素材工学研究所に新しく導入した標記顕微鏡の構造,構成...

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査型電子顕微鏡 ,  日立 ,  応用