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J-GLOBAL ID：200902136277139554   整理番号：02A0033492

ITO薄膜の紫外域固体レーザによる加工技術の開発

著者 (2件)：
高岡勉

高岡勉 について

(松浦機械製作所 技術部)

松浦機械製作所 技術部 について

, 
田中隆三

田中隆三 について

(松浦機械製作所 技術部)

松浦機械製作所 技術部 について


資料名：
レーザ加工学会誌  (Journal of Japan Laser Processing Society)

レーザ加工学会誌 について


巻： 8  号： 3  ページ： 265-267  発行年： 2001年10月 
JST資料番号： L3905A  ISSN： 1881-6797  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 紹介的記事  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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レーザはITO薄膜の吸収率が高くガラス基板の透過率の高い半導...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*薄膜

薄膜 について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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平板ディスプレイ

平板ディスプレイ について

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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ITO薄膜

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固体レーザ

固体レーザ について

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開発

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