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J-GLOBAL ID：200902136370701572   整理番号：02A0798272

マイクロマシーニングを用いた赤外線温度センサの開発

Development of the infrared sensor using micromachining.

著者 (9件)： 増井裕久 (静岡県静岡工技セ) ,  吉岡正行 (静岡県静岡工技セ) ,  佐藤夏夫 (静岡県静岡工技セ) ,  飯野修 (山梨県富士工技セ) ,  真野毅 (山梨県富士工技セ) ,  渋谷佳男 (山梨県富士工技セ) ,  柏内政則 (浜松光電) ,  松浦孝介 (浜松光電) ,  鈴木伸一 (浜松光電)
資料名： 静岡県静岡工業技術センター研究報告  (Reports of the Shizuoka Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture)
号： 47  ページ： 26-31  発行年： 2002年09月 
JST資料番号： G0604A  ISSN： 0916-6572  CODEN： SSSHEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高効率化と小型化を目指してボロメータ型赤外線温度センサを試作...

シソーラス用語： *温度センサ ,...

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分類 (2件)： 温度測定,温度計  (AD06010K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロマシーニング ,  赤外線 ,  温度センサ ,  開発