電気化学測定用ECRスパッタカーボン膜の作製

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J-GLOBAL ID：200902136382576595 整理番号：01A0768097

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資料名：
巻： 68th ページ： 46 発行年： 2001年03月25日
JST資料番号： Y0048A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

ECRスパッタ法で作製したカーボン膜は耐摩耗性が優れていてH...

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半導体薄膜 , 電気化学反応

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