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J-GLOBAL ID:200902136832979970   整理番号:93A0830883

Chemical vapor deposition of Si1-xGex alloys.

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資料名:
巻: 12th  ページ: 117-126  発行年: 1993年 
JST資料番号: E0761A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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