文献

J-GLOBAL ID：200902137334100852   整理番号：97A1011395

自励振動する圧電体カンチレバーを用いた周波数変調検出型の高真空走査型力顕微鏡

Frequency modulation detection high vacuum scanning force microscope with a self-oscillating piezoelectric cantilever.

著者 (5件)： CHU J (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ITOH T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  LEE C (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SUGA T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  WATANABE K (Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 15  号： 5  ページ： 1647-1651  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記顕微鏡(HV-SFM)を開発した。このHV-SFMは外部...

シソーラス用語： 力顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=97A1011395&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0974A") }}

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自励振動 ,  圧電体 ,  カンチレバー ,  周波数変調 ,  高真空 ,  走査型力顕微鏡