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J-GLOBAL ID：200902137609611453   整理番号：93A0920286

ボルツマン方程式の直接解法によるRF電子スウォーム輸送の研究 (II)

Study on RF electron swarm transportation by direct solution method of Boltzmann’s equation.(2).

著者 (2件)： 前田賢治 (慶応大 理工) ,  真壁利明 (慶応大 理工)
資料名： 電気学会放電研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： ED-93  号： 100-103.105  ページ： 43-52  発行年： 1993年09月03日 
JST資料番号： Z0911A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体ドライプロセスに用いられるRF放電下での電子スウォーム...

シソーラス用語： 気体放電 ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,...

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分類 (1件)： 電子と分子の衝突・散乱  (BH07030A)

タイトルに関連する用語 (6件)： ボルツマン方程式 ,  解法 ,  RF ,  電子スウォーム ,  輸送 ,  研究