ラマン分光法によるDLC膜の残留応力測定

文献

J-GLOBAL ID：200902137704924124 整理番号：00A0873491

Residual Stress Measurement in DLC films by Raman Spectroscopy.

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資料名：
巻： 36th ページ： 180-183 発行年： 2000年09月07日
JST資料番号： F0605B 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

DLC膜の基板密着性の向上を目的に標記を検討した。ガラス基板...

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炭素とその化合物 , その他の材料

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