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J-GLOBAL ID：200902137815401058   整理番号：98A0832638

切削抵抗比とAEを用いた硬脆材料の加工モード判別 単結晶シリコンの微小引掻試験

Machining Mode Discrimination between Brittle Mode and Ductile Mode Using Cutting Force Ratio and AE Signals for Hard and Brittle Materials. Microscratching Test of Single Crystal Silicon.

著者 (2件)： 越水重臣 (静岡理工科大 理工) ,  大塚二郎 (静岡理工科大 理工)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 42  号： 9  ページ： 398-402  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 硬い脆性材料の加工モード判別システムの開発を目的に,高精度に...

シソーラス用語： 機械工作 ,...
準シソーラス用語： シリコン

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分類 (1件)： 研削・研摩材  (YC06020Q)

引用文献 (6件)：

• 宮下政和. ぜい性材料の延性モード研削技術. 精密工学会. 1990, 56,5, 782
• 稲崎一郎. ファインセラミックスの研削加工. 日本機械学会論文集 (C編). 1990, 56,530, 2527-2531
• 日経メカニカル. 1996, 6.24, 483, 24-25
• OTSUKA, J. An Ultrafine Motion Table Using Piezoelectric Actuator for Ultraprecision Grinding. Int. J. Japan Soc. Prec. Eng. 1996, 30, 4, 345-346
• 森田昇. 脆性材料の研削加工における変形破壊挙動 (第3報). 1993年度精密工学会秋季大会学術講演論文集. 1993, 335-336

タイトルに関連する用語 (7件)： 切削抵抗 ,  AE ,  硬脆材料 ,  判別 ,  単結晶シリコン ,  微小 ,  引掻試験