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J-GLOBAL ID：200902137867019933   整理番号：97A0993447

プラズマ増強分子ビームエピタクシーによるc面(001)サファイア上でのZnO単結晶薄膜の成長

Growth of ZnO single crystal thin films on c-plane (0001) sapphire by plasma enhanced molecular beam epitaxy.

著者 (9件)： CHEN Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  BAGNALL D M (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ZHU Z (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SEKIUCHI T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HIRAGA K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YAO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KOYAMA S (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SHEN M Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  GOTO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 181  号： 1/2  ページ： 165-169  発行年： 1997年10月 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnO単結晶薄膜を(0001)サファイア上にプラズマ増強分子...

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ ,  増強 ,  分子ビームエピタクシー ,  サファイア ,  ZnO ,  単結晶薄膜 ,  成長