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J-GLOBAL ID：200902137917443316   整理番号：93A0973767

マグネティック・リソグラフィを用いた光スポットアレー素子の作製

Optical Multiple Beem-spliter made by Magnetic-Lithography.

著者 (3件)： 明渡純 (機械技研) ,  吉沢公人 (早稲田大 理工) ,  小林寛 (早稲田大 理工)
資料名： 日本応用磁気学会学術講演概要集  (Digest of the Annual Conference on Magnetics in Japan)
巻： 17  ページ： 85  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0056A  ISSN： 1340-8100  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： リソグラフィ ,  光スポット ,  アレー ,  作製